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・表面・裏面の目視検査を行う
・データPCに移載結果のデータを保存する
・データリンクサーバで、ウェーハID情報と検査結果をリンクしHOSTへ実績報告を行います |
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筐体 |
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1)フレーム:ボッシュアルミ引出材 |
2) |
外観:黒色PTFEコート
(一部アルマイト、一部黒色艶消し塗装) |
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ステージ |
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1) |
load Unload :2×POD-Opener
※POD-Opener:Brooks Automation社製
・カセットID読取機付 |
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機構 |
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1) |
ロボット:エッジグリップ(自社製)×1
ウェーハマッピングチェック機能付 |
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2) |
アライナー:エッジサポート(自社製)
ウェーハID読取機能付
・表面:OCR+BCR+2DM
・裏面:OCR+BCR+2DM |
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クリーンユニット
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1)フィルター:PTFE0.10μm99.999%除去 |
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通信機能
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1)GEM or SECSI&IIに対応 |
2)AGV、RGV、OHT インターロック用IF |
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処理能力 |
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1)25分/25枚 |
2) |
15000枚/月
※8時間/日×20日/月×80%稼働率 |
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外観寸法 |
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1) |
W:2145mm×D:2800mmH2725mm
(クリーンブース) |
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