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・ウェーハの表裏面を自動検査する
・データPCに検査結果のデータを保存する
・データリンクサーバで、ウェーハID情報と検査結果をリンクしHOSTへ実績報告します |
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筐体 |
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1）フレーム：ボッシュアルミ引出材 |
| 2） |
外観：黒色PTFEコート
（一部アルマイト、一部黒色艶消し塗装） |
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ステージ |
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| 1） |
load/Unload ：1×FOUP
※POD-Opener：Brooks Automation社製
・カセットID読取機付 |
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機構 |
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| 1） |
ロボット：エッジグリップ（自社製）×1
在荷チェック機能付 |
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| 2） |
アライナー：エッジサポート（自社製）
ウェーハID読取機能付
・表面：OCR＋BCR＋2DM
・裏面：OCR＋BCR＋2DM |
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クリーンユニット
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1）フィルター：ＰＴＦＥ0.10μm99.999%除去 |
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通信機能
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1）GEM or SECSI&IIに対応 |
2）AGV、RGV、OHT インターロック用IF |
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処理能力 |
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1）50分/25枚 |
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3800枚/月
※8時間/日×20日×80%稼動率 |
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外観寸法 |
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| 1） |
W:2145mm×D:2900mm×H:2725mm
(クリーンブース） |
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