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・ウェーハIDの読取りを行う
・データPCに検査結果のデータを保存する
・データリンクサーバでウェーハID情報をID読取システムの無い装置のカテゴリ・データをリンクしHOSTへ実績報告します。 |
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筐体 |
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1）フレーム：ボッシュアルミ引出材 |
2）外観：鏡面SUS400番（一部アルマイト） |
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ステージ |
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| 1） |
load/Unload ：1×FOUP＋1×FOSB
※POD-Opener：Brooks Aotomation社製
・カセットID読取機付 |
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機構 |
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| 1） |
ロボット：エッジグリップ（自社製）×1
在荷チェック機能付 |
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| 2） |
アライナー：エッジサポート（自社製）
ウェーハID読取機能付
・表面：OCR＋BCR＋2DM
・裏面：OCR＋BCR＋2DM |
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クリーンユニット
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1）フィルター：ＰＴＦＥ0.10μm99.999%除去 |
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通信機能
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1）GEM or SECSI&IIに対応 |
2）AGV、RGV、OHT インターロック用IF |
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処理能力 |
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1）15分/25枚 |
2）15000枚/月 |
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外観寸法 |
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1）W:1500mm×D:1745mm×H:2360mm
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