製品一覧TOP 通信カード 電力線搬送モデム 回線切替装置 Enet-TA H15-CDMS ペーパーハンドリング 半導体製造装置 LC-01 WI-01 WT-01 RI-01 ID-01A EI-01 AI-01 CS-01 RB-12： ウェーハ搬送ロボット AL-12： ウェーハノッチアライナー 無線モデム 無線モジュール RFID 通信機器		ノッチアライメント アライメント精度±0.5度 ID読取機能取付対応（オプション） 　筐体 　1）外観：SUS＆アルマイト 　2）オプション：PTFE他 　外形寸法 　1）幅：309mm 　2）奥：380mm 　3）高：364mm 　機構 　1）ハンドリング方式 　　（1）エッジサセプト 　基本性能 　　（1）ウェーハノッチアライメント機能付 　　（2）ウェーハセンタリング機能付 　処理能力 　　1）アライメント：3秒/枚 　2）持ち替え時間：3秒/枚 　　3）1200枚/時間 　　　（置換および持替時間無し） ページのTOPへ戻る