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・抵抗率、厚さ、P/N判定を行う
・データPCに検査結果のデータを保存する
・データリンクサーバで、ウェーハID情報と測定結果をリンクしHOSTへ実績報告します |
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筐体 |
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1）フレーム：ボッシュアルミ引出材 |
2）外観：鏡面SUS400番（一部アルマイト） |
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ステージ |
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| 1） |
load/Unload ：2×FOUP
※POD-Opener：Brooks Automation社製
・カセットID読取機付 |
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機構 |
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| 1） |
ロボット：エッジグリップ（自社製）×1
ウェーハマッピングチェック機能付 |
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| 2） |
アライナー：エッジサポート（自社製）
ウェーハID読取機能付
・表面：OCR＋BCR＋2DM
・裏面：OCR＋BCR＋2DM |
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抵抗率測定 |
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1）P/N判定機能
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| 2） |
抵抗率測定機能
Middle：0.009〜1.000Ω・cm：cv1％
High：0.500〜30.00Ω・cm：cv2％ |
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クリーンユニット
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1）フィルター：ＰＴＦＥ0.10μm99.999%除去 |
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通信機能
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1）GEM or SECSI&IIに対応 |
2）AGV、RGV、OHT インターロック用IF |
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処理能力 |
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1）40分/25枚 |
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4800枚/月
※8時間/日×20日/月×80%稼働率 |
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外観寸法 |
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1）W:1900mm×D:2690mm×H:2350mm
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