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・抵抗率、厚さ、P/N判定を行う
・データPCに検査結果のデータを保存する
・データリンクサーバで、ウェーハID情報と測定結果をリンクしHOSTへ実績報告します |
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筐体 |
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1)フレーム:ボッシュアルミ引出材 |
2)外観:鏡面SUS400番(一部アルマイト) |
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ステージ |
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1) |
load/Unload :2×FOUP
※POD-Opener:Brooks Automation社製
・カセットID読取機付 |
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機構 |
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1) |
ロボット:エッジグリップ(自社製)×1
ウェーハマッピングチェック機能付 |
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2) |
アライナー:エッジサポート(自社製)
ウェーハID読取機能付
・表面:OCR+BCR+2DM
・裏面:OCR+BCR+2DM |
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抵抗率測定 |
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1)P/N判定機能
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2) |
抵抗率測定機能
Middle:0.009〜1.000Ω・cm:cv1%
High:0.500〜30.00Ω・cm:cv2% |
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クリーンユニット
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1)フィルター:PTFE0.10μm99.999%除去 |
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通信機能
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1)GEM or SECSI&IIに対応 |
2)AGV、RGV、OHT インターロック用IF |
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処理能力 |
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1)40分/25枚 |
2) |
4800枚/月
※8時間/日×20日/月×80%稼働率 |
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外観寸法 |
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1)W:1900mm×D:2690mm×H:2350mm
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