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RB580：高速/低速対応用
RB670：プロセス装置用
RB670ウェット：ウェットプロセス用
RB670-8:8インチ用
・ウェーハエッジグリップ
・ウェーハセンタリング
・ウェーハマッピング |
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| 筐体 |
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| 1）外観：SUS＆アルマイト |
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2）オプション：PTFE他 |
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| 機構 |
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| 1）旋回半径 |
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2）Z昇降 |
| （1）RB580：600mm |
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（1）RB580：300mm |
| （2）RB670：600mm |
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（2）RB670：300mm |
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| 3）伸縮 |
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4）ハンドリング方式 |
| （1）RB580：462mm |
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（1）エッジグリップ |
| （2）RB670：503mm |
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| 5）基本性能 |
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| （1）ウェーハマッピングチェック機能付 |
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| （2）ウェーハセンタリング機能付 |
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| 処理能力 |
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| 1）RB580ツインアーム |
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| （1）差換え：1秒/枚 |
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（2）下取→上詰3秒/枚
（90度旋回昇降含む） |
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| （3）2→4への振分移載：220枚/時間 |
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