製品一覧TOP 通信カード 電力線搬送モデム 回線切替装置 Enet-TA H15-CDMS ペーパーハンドリング 半導体製造装置 LC-01 WI-01 WT-01 RI-01 ID-01A EI-01 AI-01 CS-01 RB-12： ウェーハ搬送ロボット AL-12： ウェーハノッチアライナー 無線モデム 無線モジュール RFID 通信機器		・Load FOUPからUnload FOUP&FOSBにグレード振分けを行います ・データPCに移載結果のデータを保存します ・データリンクサーバで、ウェーハID情報と移載結果をリンクしHOSTへ実績報告します 筐体 1）フレーム：ボッシュアルミ引出材 2）外観：鏡面SUS400番（一部アルマイト） ステージ 1）load：2×FOUP 2） Unload：2×FOUP＋2×FOSB ※POD-Opener：Brooks　 Automation社製・カセットID読取機付

	機構
	1） ロボット：エッジグリップ（自社製）×2 ウェーハマッピングチェック機能付	2） アライナー：エッジサポート（自社製） ウェーハID読取機能付 ・表面：OCR＋BCR＋2DM ・裏面：OCR＋BCR＋2DM

	クリーンユニット
	1）フィルター：ＰＴＦＥ0.10μm99.999%除去

	通信機能
	1）GEM　or　SECSI&IIに対応	2）AGV、RGV、OHT　インターロック用IF

	処理能力
	1）15分/25枚	2） 15000枚/月 ※8時間/日×20日/月×80%稼働率

	外観寸法
	1）W:3450mm×D:1745mm×H:2360mm

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