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機構 | ||||||
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クリーンユニット |
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1)フィルター:PTFE0.10μm99.999%除去 | ||
通信機能 |
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1)GEM or SECSI&IIに対応 | 2)AGV、RGV、OHT インターロック用IF | |
処理能力 | ||||
1)15分/25枚 |
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外観寸法 | ||
1)W:3450mm×D:1745mm×H:2360mm |
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